УДК 681.786: 621.836
В. С. Антонюк, А. В. Приходько
Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут»,
м. Київ, Україна
ДОСЛІДЖЕННЯ РОБОТИ МІКРОМАНІПУЛЯЦІЙНОЇ СИСТЕМИ В НАНОДІАПАЗОНІ
Завантажити...
Сучасний рівень розвитку науки, яка вже впритул займається нанотехнологіями, вимагає наявності спеціальних приладів, які б могли керувати рухом в нанодіапазоні. На сьогоднішній день ці функції виконують мікро- і наноманіпулятори на базі п'єзоелектричних двигунів, які мають унікальні технічні властивості і є ідеальними для роботи на нанопереміщеннях. Дана стаття присвячена вивченню деяких властивостей п'єзоелектричного двигуна і його впливу на загальну роботу мікроманіпуляційної системи, а також дослідженню нанопереміщень, які здатен задавати сучасний мікроманіпулятор. Для вивчення нанопереміщень використовується динамічна модель мікроманіпуляційної системи, яка враховує всі важливі конструктивні особливості і дозволяє досліджувати нанопереміщення на виході маніпулятора в залежності від параметрів збудження двигуна. Отримані з динамічної моделі результати мають високу збіжність з експериментальними в мікродіапазоні і деяку розбіжність у нанодіапазоні, що пояснюється особливістю маніпулятора. Завдяки цьому вдалося з'ясувати, що найменше переміщення, яке може забезпечити мікроманіпуляційна система на базі п'єзоелектричного двигуна дорівнює 4 нанометрів.
Ключові слова: мікроманіпулятор, п’єзоелектричний двигун, направляюча, нанопереміщення, динамічна модель.
Литература
1.Петренко С. Ф. Пьезоэлектрический двигатель в приборостроении. – К.: «Корнійчук», 2002. – 96 c.
2.Пановко Я. Г. Введение в теорию механических колебаний: Учебное пособие. – М.: Наука, 1980. – 270 с.
3.Левин А. И. Математическое моделирование в исследованиях и проектировании станков. – М.: Машиностроение, 1978. – 184 с.
4.Антонюк В. С. Підвищення точності позиціювання лінійних направляючих мікроманіпуляційних систем з п’єзоелектричним двигуном / В. С. Антонюк, А. В. Бєлова, С. Ф. Петренко // Високі технології в машинобудуванні: Збірник наукових праць Харків: НТУ “ХПІ”., 2008. – Вип.2 (17). – С. 12 – 20.