Стор. 54 - 60. Сердега Б.К., Матяш І.Є., Литвин П.М. Маслов В.П., Кущовий С.М. КОМПЛЕКСНІ ДОСЛІДЖЕННЯ ЯКОСТІ САПФІРОВИХ ОПТИЧНИХ ВІКОН СУЧАСНИМИ НЕРУЙНІВНИМИ МЕТОДАМИ Скачать
- Описание:
-
УДК 535.15
КОМПЛЕКСНІ ДОСЛІДЖЕННЯ ЯКОСТІ САПФІРОВИХ ОПТИЧНИХ ВІКОН СУЧАСНИМИ НЕРУЙНІВНИМИ МЕТОДАМИ
1)Сердега Б.К.,1)Матяш І.Є., 1)Литвин П.М. 1)Маслов В.П., 2)Кущовий С.М.
1)Інститут фізики провідників ім. В.Є.Лашкарьова Національної Академії Наук України,
м. Київ, Україна; 2)Національний технічний університет України “Київський політехнічний
інститут”, м. Київ, Україна
Сапфір є унікальним матеріалом, який широко використовується в сучасних приладах як для виробництвах оптичних пристроїв, так і в мікроелектроніці. Тому вимірювання внутрішніх напружень та якості полірування поверхонь в деталях із сапфіру є актуальною проблемою в науковому приладобудуванні. Як відомо, на геометрію фронту розповсюдження випромінювання може впливати як якість полірування, так і внутрішні механічні напруження, пов’язані з вирощуванням кристалів сапфіру. Метою роботи було розроблення високочутливого методу неруйнівного контролю лазерних вікон із сапфіру та встановлення зв’язку між розподілом внутрішніх механічних напружень з наношорсткістю полірованих поверхонь. Були проведені комплексні дослідження: якості полірування методом атомно-силової мікроскопії та внутрішніх напружень – новим неруйнівним поляризаційно-модуляційним методом. Результати досліджень дозволили виявити розподіл внутрішніх механічних напружень в лазерних вікнах із сапфіру і вперше встановити пропорційну залежність між внутрішніми механічними напруженнями та наношорсткістю полірованих поверхонь.
Ключові слова: неруйнівні методи контролю, лазерні вікна, сапфір, поляризаційно-модуляційний метод, атомно-силова мікроскопія.
- Размер:
- 1,395.65 Kb
- Скачиваний:
- 132