УДК 621.373.826.038
Г. В. Канашевич
Черкаський державний технологічний університет, м. Черкаси, Україна
ТЕРМОЕЛЕКТРИЧНИЙ ВПЛИВ НИЗЬКОЕНЕРГЕТИЧНОГО ЕЛЕКТРОННОГО ПОТОКУ НА ДЕФЕКТНИЙ ШАР ОПТИЧНОГО СКЛА
Завантажити...
Визначено фізичні умови електронно-променевої мікрообробки (енергія електронів Е≤8 кеВ) та механізм взаємодії електронного потоку із дефектним шаром оптичного скла. Встановлено межі потужності електронного потоку, що призводять до оплавлення дефектного шару. Визначено стадії термічної і електричної дії електронного потоку на дефектний шар скла.
Отримані результати дозволили розширити існуючі технологічні можливості термічної електронно-променевої обробки діелектричних матеріалів і використати електронний потік стрічкової форми в якості інструменту для мікрообробки та модифікування хімічних властивостей дефектного шару оптичного скла. Показано, що стрічковий електронний потік може використовуватися як засіб для ідентифікування дефектного шару деталей з оптичного скла, що пройшли фінішну обробку поліруванням в умовах оптичного виробництва. Область застосування: приладобудування, мікрооптика, нанооптика, волоконна оптика.
Ключові слова: електронний потік, електронно-променева обробка, оптичний матеріал, електронно-променева мікрообробка, оптичне скло, дефектний шар, мікрооптика, нанооптика.
Література
- Дудко Г.В. Проблема формирования особочистых и бездефектных поверхностей / Г.В. Дудко, В.Н. Лисоченко // Материалы краткосрочного семинара. Ленинград. – 1985. – С. 13 – 16.
- Кравченко А.А. Электронно-лучевая обработка плат фотоэмитирующих структур: автореф. дис… канд. техн. наук: 05.27.01 / Кравченко А.А. – М., 1989. – 19 с.
- А.С. 1443682 СССР. Способ электронно-лучевой обработки / Лисоченко В.Н., Дудко Г. В., Магаев Л.Г. и др. Опубл. 1986. Бюл. № 9.
- Лохов Ю.Н. Модификация поверхности оптических стекол при электронно-лучевой обработке в вакууме / Ю.Н. Лохов, А.А. Углов, Д.И. Чередниченко // Физика и химия обработки материалов. – 1997. – № 1. – С. 56 – 62.
- Кравченко А.А. О формировании предельно гладких поверхностей стекол / А.А. Кравченко, Ю.Н. Лохов, Д.И. Чередниченко // Физика и химия стекла. – 1990. – Т.16. – № 6. – С. 923 – 927.
- Ващенко В.А. Научные основы управления качеством електронно- лучевой обработки изделий из специальных оптических материалов: автореферат дис. докт. техн. наук: 05.03.07 / Ващенко В.А. – Киев, 1996. – 32 с.
- Ващенко В.А. Высокотемпературные технологические процессы взаимодействия концентрированных источников энергии с материалами: монография / Ващенко В.А.; Черкассы: ВИНИТИ, 1994, №35-Х94. – 493 с.
- Котельников Д.И. Изменение свойств оптического стекла после электронно-лучевой обработки / Д.И. Котельников, Г.В. Канашевич, Г.Н. Дубровская // Тез. докл. II Всесоюзной конференции "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц". Уральское отделение академии наук СССР, Институт электрофизики, г. Свердловск, 1991, С. 86 – 88.
- Борисов Н.А. Полировка кремниевых пластин электронным лучом / Н.А. Борисов, Г.В. Дудко // Электронная обработка материалов, №5(29), 1969. – С. 18 – 21.
- Электронно-лучевая обработка фотокатодных стекол / Г.В. Дудко, А.А. Кравченко, Д.И. Чередниченко [и др.] // Электронная техника. – Сер. 4. «Электровакуумные и газоразрядные приборы». – Вып.1. – С. 294. – М.: Электроника. – 1989. – С. 60 – 63.
- Kanashevich G.V. Cooling of plates from optical glass after electronic micro-treatment / Kanashevich G.V. // Электронная обработка материалов (Кишинеу). – 2005. – №4 (234). – С. 79 – 83.
- Kanashevich G.V. Micro-treatment of surfaces of plates made of optical glass with a low-power electronic stream of a band form / Kanashevich G.V. // The 7th World Congress on Recovery, Recycling and Reintegration & China International 3R Exhibition, Beijing, China, 25-29 Sept. 2005. – P. 7.
- Канашевич Г.В. Превращения в поверхностном слое оптического стекла и фотопластин из силикатного стекла от действия низкоэнергетического электронного потока / Канашевич Г.В. // Ежемесячный междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал «Нано- и микросистемная техника» (Россия). Рубрика: Материаловедческие и технологические основы МНСТ., 2008. – № 10. – С. 28 – 30 .